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碳化硅晶体生长介绍
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豆单
行业资料
能源与动力工程
碳化硅晶体生长介绍
Alex
创建于2012-03-10
最后编辑: 2012-03-10 20:55
4,861阅读
2人收藏
碳化硅晶体生长技术介绍
共 4 个文档
3p
pdf
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β碳化硅晶体生长技术的若干基本问题
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2011-05-18
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SiC(碳化硅)晶体生长炉控
将HOLLiAS-LEC G3 小型一体化 PLC 应用于 SiC 晶体生长炉控制系统,根据碳化硅晶体生长工艺要求,提供了一种降低成本,增加可靠性的运动控制方 案. 该晶体生长炉..
作者:
chensha2012
2010-09-09
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